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वैज्ञानिक नींव: ओजोन के उल्लेखनीय ऑक्सीकरण गुण ओजोन की आणविक संरचना जिसमें तीन ऑक्सीजन परमाणु शामिल हैं, असाधारण ऑक्सीकरण क्षमता प्रदान करता है। यह संपत्ति इलेक्ट्रॉनिक्स और सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों में विभिन्न तरीकों से है
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